作為減輕環(huán)境負(fù)擔(dān)的新一代燃料電池系統(tǒng)零部件，MEMS流量傳感器發(fā)揮著重要的作用。
燃料電池的原理就是將城市燃?xì)庵泻械臍錃馀c氧氣混合在一起，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行發(fā)電。為了盡量提高發(fā)電效率，需要使氫氣與氧氣在合適的混合比率的情況下進(jìn)行燃燒。為了達(dá)到這一目的，需要發(fā)揮MEMS流量傳感器的高精度測試技術(shù)。
歐姆龍采用獨(dú)創(chuàng)的超細(xì)微加工技術(shù)，開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器。擁有引以為傲的高級別靈敏度，甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。隨著燃料電池的普及，對歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器用途的期待也不斷高漲。
技術(shù)特長氣體流量檢測技術(shù)
應(yīng)用氣體流量檢測技術(shù)，檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
為了檢測微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過充分發(fā)揮歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的高精度加工技術(shù)，創(chuàng)造出小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。
其測試原理如圖所示，在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱；如有氣體流動，加熱器排出的風(fēng)的上方就會變冷，風(fēng)的下方就會變熱，從而導(dǎo)致溫度失衡。此溫度差作為兩個熱電偶的電動勢差，可用于檢測流速及流量。
另外，通過應(yīng)用歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的蝕刻技術(shù)等，即使是這種超精細(xì)的MEMS，也能高精度地實現(xiàn)質(zhì)量穩(wěn)定的大批量生產(chǎn)。憑借這種高度的MEMS生產(chǎn)性，歐姆龍大幅度降低了產(chǎn)品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應(yīng)用于檢測精密設(shè)備的空冷狀態(tài)等各種領(lǐng)域。
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